Produkte / InFrame Synapse Process Control System

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InFrame Synapse PCS

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InFrame Synapse Film

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Unterstützte Industrie-Standards

• SEMI E5-1108 - SEMI Equipment Communication Standard (SECSII)
• SEMI E120-1104 - Common Equipment Model (CEM)
• SEMI E125-1105 - Equipment Self Description (EqSD)
• SEMI E132-1105 - Client Authentication and Authorization
• SEMI E133-1108 - Process Control System (PCS)
• SEMI E134-1105 - Data Collection Management (DCM)
• SEMI E138-0305 - Common Components
• SEMI G81-0703 - Specification for Map Data Items
• SEMI G85-0703 - Specification for Map Data Format

• ISO 21747:2006 - Statistical methods - Process performance and capability statistics for measured quality characteristics

• STDF V4 - Standard Test Data Format
• VFEI - Virtual Factory Equipment Interface

• KLARF - KLA Results File
• Keithley Electrical Test Data